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技术知识

石英管外表面抗腐蚀纳米金刚石薄膜的制备

在具有新式谐振腔的微波等离子体CVD设备上,运用乙醇和氢气为作业气体在石英管外表面堆积了均匀、细密的纳米金刚石薄膜。选用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石薄膜的质量;规划腐蚀实验查验了金刚石薄膜的抗腐蚀作用。

结果表明:在反应气压为5.5 kPa、碳源浓度为8 vo1%、石英玻璃

管温度为500oC的条件下,得到的纳米金刚石薄膜能有用增强石英玻璃管的抗腐蚀功用。

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