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扩散炉石英管的清洗

备用石英管清洗
  1.清洗石英管的整个进程应严格依照分散工序相关工艺安全标准进行。
  2.清洗槽内假如存有曾经用过的氢氟酸溶液,溶液不脏的情况下能够再往里面加10瓶氢氟酸(由出产人员分配);假如原有的氢氟酸溶液很脏,则应悉数排空并洗净槽体,然后通知出产人员配液;假如槽内无以往剩余的氢氟酸溶液,洗净槽体后请出产人员配液。
  3.清洗人员有必要佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用石英管放入石英管清洗机接近里面的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向分散炉地点方向。拉下防护门,将酸槽清洗时刻设定为30min,按下控制面板中"酸槽发动"按钮。
  4.酸槽清洗时刻的设定:
  新的石英管只需清洗30min左右。假如是用过的石英管,应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷悉数脱落的时刻为准。清洗用过的管子,有的要1到2天时刻。在酸槽未发动的情况下,应每隔2个小时将石英管旋转180°。
  5.清洗人员戴好防护眼镜和手套,将石英管从酸槽取出,轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲刷石英管内外壁约5分钟。冲刷石英管内壁时不要按下"水槽发动"按钮,假如已经按下了应再按下"水槽完毕"按钮。然后把水枪拉到石英管管口,从管口向管尾方向冲刷管内壁。冲刷时应仔细认真,不要有残留未冲到的区域。2分钟后,将石英管旋转180°,再用相同办法冲刷2分钟。
  6.将纯水注入水槽,水位以能没过石英管尾部的中心通气管为准。拉下防护门,然后将水槽清洗时刻设定为30min,按下"水槽发动"按钮。
  7.重复第6步,再清洗一遍。
  8.水槽完毕后,将水槽内的水排空。然后,参照上面第5步的办法用水枪冲刷石英管内/外壁。要点冲刷内壁。约5min后用水枪冲刷管尾的四个小通气管,要点相同是管内壁。冲刷2分钟后再继续从管口方向冲刷。此步清洗时刻应不少于15min,以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗洁净的标志。
  9.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置,下面垫上专用的泡沫。
  10.将管口和尾管用专用铝箔密封。
  注:1.转移石英管或将石英管放入清洗槽/从清洗槽取出时应使用专门的塑料套管。
  2.石英管应轻拿轻放,切勿与清洗槽或其他物品发生磕碰或接触。
  3.放入槽内的位置应以管口抵住槽体最右侧底部的限位转子为准。
  4.清洗后假如超过1星期未使用,应重新进行清洗。
  5.转移进程中不能抓尾部的小管,清洗后也不能抓管口。